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ALON高陡度薄壁保形非球面的超精密磨削工艺
ALON高陡度薄壁保形非球面的超精密磨削工艺
Ultra-precision grinding process of high-gradient thin conformal aspheric on ALON ceramic
- 光学精密工程 2017年25卷第1期 页码:93-99
DOI: 10.3788/OPE.20172501.0093
录用:2016-7-20
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