LED蓝宝石衬底抛光表面原子台阶形貌及其周期性研究

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微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-07-07

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- LED蓝宝石衬底抛光表面原子台阶形貌及其周期性研究
- Atomic step morphology research of LED sapphire substrate polishing surface and its periodicity
- 周艳，潘国顺，史晓磊，龚桦，邹春莉，汤皎宁
- 光学精密工程 2017年25卷第1期页码：100-106
- 作者机构：
  1.清华大学摩擦学国家重点实验室, 北京 100084
  2.深圳清华大学研究院深圳市微纳制造重点实验室, 广东深圳 518057
  3.广东省光机电一体化重点实验室, 广东深圳 518057
  4.深圳市特种功能材料重点实验室深圳大学, 广东深圳 518060
- 作者简介：
  周艳(1982-),女,湖南衡阳人,高级工程师,2007年于中国科学院广州化学研究所获得硕士学位,主要从事超精表面抛光研究。E-mail:zhouyan@tsinghua-sz.org
  潘国顺(1965-),男,河北吴县人,研究员。1998年于中国矿业大学(北京)获得博士学位,主要从事亚纳米级化学机械抛光、摩擦学设计等方面的研究。E-mail:pangs@tsinghua.edu.cn E-mail:pangs@tsinghua.edu.cn
- 基金信息：
  国家自然科学基金重大研究计划重点资助项目(No.91223202);国家重点基础研究发展计划（973计划）资助项目(No.2011CB013102);国家自然科学基金创新研究群体科学基金资助项目(No.51321092);深圳大学深圳市特种功能材料重点实验室开放基金资助项目(No.T201404)
- DOI： 10.3788/OPE.20172501.0100
  中图分类号：
- 录用：2016-7-17 ，
- 稿件说明：
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