您当前的位置：
首页 >
文章列表页 >
基于柔性止动的MEMS惯性开关冲击可靠性强化
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-07-07
上一篇|下一篇

    • 基于柔性止动的MEMS惯性开关冲击可靠性强化

    • Shock reliability enhancement by flexible stop for MEMS inertial switch

    • 步超 ，聂伟荣 ，徐安达 ，周织建
    • 光学精密工程 2017年25卷第1期 页码：123-132

    • DOI： 10.3788/OPE.20172501.0123     

      中图分类号：

    • 录用：2016-9-27 ，

    移动端阅览

  •  
  •  

  • HTML全文

  • 图( 16 ) 表( 0 )

  • 参考文献

  • 出版信息

  • 数据统计

论文导航
icon
试读结束，您可以激活您的VIP账号继续阅读。
去激活 >
icon
试读结束，您可以通过登录账户，到个人中心，购买VIP会员阅读全文。
已是VIP会员？
去登录 >

435

浏览量

867

下载量

0

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。
提交
工具集
  • BibTeX下载
  • Endnote下载
  • RefMan 下载
  • NoteExpress下载
  • NoteFirst下载

相关文章

MEMS中基底和薄膜的CMP制造技术
纳米尺度金属薄膜在拉伸状态下的稳定性
光栅光调制器阵列交叉效应的理论分析与实验
时钟抖动下加速度测量值的数值双积分误差
电液动力微泵微电极的不同制作工艺的比较

相关作者

曾毅波
张杰
许马会
郝锐
沈杰男
周辉
郭航
郭振山

相关机构

厦门大学 航空航天学院
厦门大学 物理科学与技术学院
厦门大学 萨本栋微米纳米科学技术研究院
天津大学 力学系
重庆大学光电工程学院