米级弯月面化学薄膜涂覆装备的研制

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微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-07-07

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- 米级弯月面化学薄膜涂覆装备的研制
- Meter-scale thin film coating equipment based on meniscus-coating technology
- 徐佳，许文斌，卜和阳，卢振武，刘正坤，洪义麟，鱼卫星
- 光学精密工程 2017年25卷第1期页码：133-140
- 作者机构：
  1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林长春 130033
  2.中国科学技术大学, 安徽合肥 230026
  3.中国科学院西安光学精密机械研究所, 陕西西安 710119
- 作者简介：
  徐佳(1984-),男,吉林长春人,博士,2008年于长春理工大学获得学士学位,2014年于长春理工大学获得博士学位,现为中科院长春光机所博士后,主要从事微纳加工及光刻技术方面的研究。E-mail:xujia728@163.com
  鱼卫星(1975-),男,陕西临潼人,研究员,1998年于西北工业大学获学士学位,2001年于中科院长春光机所获理学硕士学位,2004年于新加坡南洋理工大学获博士学位,主要研究领域包括亚波长光学、微纳光学、表面等离子体光学、微细加工技术、三维微纳加工技术等。E-mail:yuwx@opt.ac.cn E-mail:yuwx@opt.ac.cn
- 基金信息：
  国际科技重大专项资助项目(No.2013ZX04001000-214);国家自然科学基金资助项目(No.11504369);2014年吉林省博士后科研项目
- DOI： 10.3788/OPE.20172501.0133
  中图分类号：
- 录用：2016-8-5 ，
- 稿件说明：
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