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基于平面线圈的高分辨力时栅角位移传感器
基于平面线圈的高分辨力时栅角位移传感器
High resolution time grating angular displacement sensor based on planar coils
- 光学精密工程 2017年25卷第1期 页码:172-181
DOI: 10.3788/OPE.20172501.0172
录用:2016-8-20
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长光卫星技术有限公司


