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基于平面线圈的高分辨力时栅角位移传感器
微纳技术与精密机械 | 更新时间:2020-07-07
    • 基于平面线圈的高分辨力时栅角位移传感器

    • High resolution time grating angular displacement sensor based on planar coils

    • 鲁进 ,陈锡侯 ,武亮 ,汤其富
    • 光学精密工程 2017年25卷第1期 页码:172-181
    • DOI: 10.3788/OPE.20172501.0172     

      中图分类号:
    • 录用:2016-8-20 ,

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