基于构型优化的高阶模态微质量传感器灵敏度提升方法

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基于构型优化的高阶模态微质量传感器灵敏度提升方法

微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-07-07

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- 基于构型优化的高阶模态微质量传感器灵敏度提升方法
- Structure optimization based sensitivity improving method forhigh order mode multi-stepped cantilever mass sensor
- 赵剑，张淑敏，高仁璟
- 光学精密工程 2017年25卷第3期页码：656-662
- 作者机构：
  大连理工大学工业装备结构分析国家重点实验室汽车工程学院, 辽宁大连 116024
- 作者简介：
  赵剑 (1980-), 男, 河北石家庄人, 教授, 博士生导师, 2008年于西安电子科技大学获博士学位, 主要从事非线性传感器、智能微结构和多稳态柔性机构等方面的研究。E-mail:jzhao@dlut.edu.cn
  高仁璟 (1964-), 女, 山东烟台人, 教授, 博士生导师, 主要从事左手材料、生物传感器、电路与系统等方面的研究。E-mail:renjing@dlut.edu.cn GAO Ren-jing, E-mail:renjing@dlut.edu.cn
- 基金信息：
  国家自然科学基金资助项目(51575088);国家自然科学基金资助项目(11372063);国家自然科学基金资助项目(11332004);国家自然科学基金资助项目(11572073);大连理工大学星海优青资助项目
- DOI： 10.3788/OPE.20172503.0656
  中图分类号：
- 录用：2016-11-15 ，
- 稿件说明：
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