光栅复制拼接光路中入射光角度对拼接误差的影响

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光栅复制拼接光路中入射光角度对拼接误差的影响

光栅微纳制造 | 更新时间：2020-07-07

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- 光栅复制拼接光路中入射光角度对拼接误差的影响
- Influence of incident light angles on mosaic grating errors in optical path for grating replication and mosaic
- 丛敏，齐向东，糜小涛，于海利，李晓天，卢禹先
- 光学精密工程 2017年25卷第12期页码：3027-3033
- 作者机构：
  1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林长春 130033
  2.中国科学院大学, 北京 100049
- 作者简介：
  丛敏(1991-), 女, 吉林人, 博士研究生, 主要从事光栅拼接方面的研究。E-mail:695861544@qq.com
  齐向东(1965-), 男, 吉林辽源人, 研究员, 博士生导师, 主要从事光栅刻划机及衍射光栅研制方面的研究。E-mail:chinagrating@263.net
- 基金信息：
  国家自然科学基金资助项目(61505204);吉林省青年人才基金资助项目(20170520167JH);国家973重点基础研究计划资助项目(2014CB049500);国家重大科研装备研制项目(ZDYZ2008-1);重大科学仪器设备开发专项(2016YFF0103304);国家重点研发计划(2016YFF0102006)
- DOI： 10.3788/OPE.20172512.3027
  中图分类号：
- 录用：2017-6-26 ，
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