基于柔性纳米压印工艺制备中红外双层金属纳米光栅

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

基于柔性纳米压印工艺制备中红外双层金属纳米光栅

光栅微纳制造 | 更新时间：2020-07-07

上一篇|下一篇

- 基于柔性纳米压印工艺制备中红外双层金属纳米光栅
- Fabrication of bilayer metallic nano gratings in mid-infrared region based on flexible nanoimprint lithography
- 褚金奎，康维东，曾祥伟，张然
- 光学精密工程 2017年25卷第12期页码：3034-3040
- 作者机构：
  大连理工大学机械工程学院辽宁省微系统研究中心重点实验室, 辽宁大连 116024
- 作者简介：
  褚金奎(1965-), 男, 河南平顶山人, 博士, 教授, 博士生导师, 1986年于杭州电子科技大学获得学士学位, 1989年于西安科技大学获得硕士学位, 1992年于北京航空航天大学获得博士学位, 主要从事智能机器人、仿生传感器和微机电测试技术等方面的研究。E-mail:chujk@dlut.edu.cn
  康维东(1994-), 男, 内蒙古乌兰察布人, 硕士研究生, 2016年于内蒙古工业大学获得学士学位, 主要从事红外偏振光栅及红外偏振探测器的集成工艺研究。E-mail:kwd2016@mail.dlut.edu.cn
- 基金信息：
  国家自然科学基金资助项目(51675076);国家自然科学基金资助项目(51505062);国家自然科学基金创新研究群体项目(51621064);中央高校基本科研业务费(DUT17GF109);中央高校基本科研业务费(DUT16TD20);联合基金资助项目(6141B08100303)
- DOI： 10.3788/OPE.20172512.3034
  中图分类号：
- 录用：2017-9-14 ，
- 稿件说明：
移动端阅览
DOI：
DOI：

HTML全文
图( 8 ) 表( 0 )
参考文献
出版信息
数据统计

摘要

Abstract

关键词

Keywords

references

335

浏览量

1440

下载量

9

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

BibTeX下载
Endnote下载
RefMan 下载
NoteExpress下载
NoteFirst下载

关联资源

相关文章

任意槽形金属光栅衍射特性的矢量理论分析与计算

聚晶立方氮化硼脉冲激光烧蚀传热与去除规律

复杂关节物体六自由度位姿估计与实时系统

光子晶体激光器掩埋纳米孔结构自动量取

中国仪器企业如何突破规模瓶颈

相关作者

樊叔维

相关机构

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室

AI问答