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Parylene增强型声表面波传感器及其温度响应
Parylene增强型声表面波传感器及其温度响应
Parylene-enhanced SAW sensor and its temperature response
- 光学 精密工程 2017年25卷第12期 页码：3048-3055
DOI： 10.3788/OPE.20172512.3048
录用：2017-6-22
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相关作者
赵明富
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相关机构
重庆理工大学 光纤传感与光电检测重庆市重点实验室
西安工业大学 机电工程学院
南京理工大学 机械工程学院
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