深紫外倍频用KBBF晶体光栅耦合器设计

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深紫外倍频用KBBF晶体光栅耦合器设计

光栅微纳制造 | 更新时间：2020-07-07

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- 深紫外倍频用KBBF晶体光栅耦合器设计
- Design of KBBF crystal grating coupler in deep ultraviolet band
- 谭鑫，张嘉航，巴音贺希格
- 光学精密工程 2017年25卷第12期页码：3041-3047
- 作者机构：
  1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林长春 130033
  2.中国科学技术大学, 安徽合肥 230026
- 作者简介：
  谭鑫(1981-), 男, 吉林长春人, 博士, 研究员, 博士生导师, 2003年、2008年于中国科学技术大学分别获得学士、博士学位, 主要从事光栅设计制作技术及光学器件微细加工技术的研究。E-mail:xintan_grating@163.com
  巴音贺希格(1962-), 男, 内蒙古鄂尔多斯人, 博士, 研究员, 博士生导师, 2002年于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所获得博士学位, 主要从事光栅理论、光栅制作技术及光谱技术的研究。E-mail:bayin888@sina.com
- 基金信息：
  国家重大科研装备开发专项(2011YQ120023);国家自然科学基金面上项目(61675197)
- DOI： 10.3788/OPE.20172512.3041
  中图分类号：
- 录用：2017-6-28 ，
- 稿件说明：
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