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二级杠杆柔性铰链复合结构的双足压电直线电机
微纳技术与精密机械 | 更新时间:2020-08-13
    • 二级杠杆柔性铰链复合结构的双足压电直线电机

    • Double-foot piezoelectric linear motor with secondary lever and flexure hinge composite structure

    • 钟相强 ,黄卫清 ,张轩 ,孙梦馨 ,卢倩
    • 光学 精密工程 2018年26卷第1期 页码:86-94
    • DOI: 10.3788/OPE.20182601.0086     

      中图分类号:
    • 录用:2017-7-8 ,

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