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二级杠杆柔性铰链复合结构的双足压电直线电机
二级杠杆柔性铰链复合结构的双足压电直线电机
Double-foot piezoelectric linear motor with secondary lever and flexure hinge composite structure
- 光学 精密工程 2018年26卷第1期 页码:86-94
DOI: 10.3788/OPE.20182601.0086
录用:2017-7-8
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