超薄硅衬底氮化铝Lamb波压电谐振器

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

超薄硅衬底氮化铝Lamb波压电谐振器

微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-07-05

上一篇|下一篇

- 超薄硅衬底氮化铝Lamb波压电谐振器
- Aluminum nitride Lamb wave piezoelectric resonators based on ultrathin silicon substrates
- 李传宇，孔慧，唐玉国，张芷齐，郭振，张威，周连群
- 光学精密工程 2018年26卷第2期页码：371-379
- 作者机构：
  1.中国科学院苏州生物医学工程技术研究所, 江苏苏州 215163
  2.中国科学院大学, 北京 100049
  3.中国科学技术大学, 安徽合肥 230026
- 作者简介：
  李传宇(1986-), 男, 山东曲阜人, 博士研究生, 助理研究员, 2008年、2011年于山东大学分别获得学士、硕士学位, 主要从事MEMS压电声波传感器方面的研究。E-mail:lichy@sibet.ac.cn
  唐玉国 (1967-)，男，吉林蛟河人，博士生导师，973计划首席科学家，中科院特聘研究员，1995年于中国科技大学获得博士学位，主要从事医用光学、应用光学、光谱学及相关仪器研发等研究工作。E-mail: tangyg@sibet.ac.cn
- 基金信息：
  国家863高技术研究发展计划资助项目(2015AA042603)
- DOI： 10.3788/OPE.20182602.0371
  中图分类号：
- 录用：2017-7-23 ，
- 稿件说明：
移动端阅览
DOI：
DOI：

HTML全文
图( 9 ) 表( 0 )
参考文献
出版信息
数据统计

摘要

Abstract

关键词

Keywords

references

412

浏览量

654

下载量

0

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

BibTeX下载
Endnote下载
RefMan 下载
NoteExpress下载
NoteFirst下载

关联资源

相关文章

多模态原子力显微镜的空气压膜阻尼效应

高真空环境下硅微机械陀螺品质因数的温度特性

真空封装硅微陀螺品质因数的标定

独特谐振模式下薄膜体声波谐振器的设计

中国仪器企业如何突破规模瓶颈

相关作者

赵阳

黄强先

姜劭栋

苏岩

裘安萍

施芹

王玉朝

滕霖

相关机构

安徽建筑大学电子与信息工程学院

合肥工业大学仪器科学与光电工程学院

南京理工大学机械工程学院

中国航空工业集团西安飞行自动控制研究所

昆明理工大学理学院 MEMS实验室

AI问答