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基于压电悬臂梁的驱动器与传感器性能分析的精确解析模型
微纳技术与精密机械 | 更新时间:2020-07-05
    • 基于压电悬臂梁的驱动器与传感器性能分析的精确解析模型

    • An accurate analytical expression for predicting the performance of piezoelectric cantilever based actuators and sensors

    • 刘骥 ,刘书田 ,高仁璟 ,仝立勇
    • 光学 精密工程 2018年26卷第2期 页码:380-387
    • DOI: 10.3788/OPE.20182602.0380     

      中图分类号:
    • 录用:2017-7-7 ,

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