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辉光放电清洗在同步辐射光束线上的应用
辉光放电清洗在同步辐射光束线上的应用
Applications of glow discharge cleaning in synchrotron radiation beamlines
- 光学 精密工程 2018年26卷第10期 页码：2389-2394
DOI： 10.3788/OPE.20182610.2389
录用：2018-4-25
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相关机构
中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室
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