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极紫外宽带多层膜反射镜离散化膜系的设计与制备
现代应用光学 | 更新时间：2020-07-05
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    • 极紫外宽带多层膜反射镜离散化膜系的设计与制备

    • Design and fabrication of EUV broadband multilayer mirrors with discrete thicknesses

    • 匡尚奇 ，李硕 ，杨海贵 ，霍同林 ，周洪军
    • 光学 精密工程 2018年26卷第10期 页码：2395-2406

    • DOI： 10.3788/OPE.20182610.2395     

      中图分类号：

    • 录用：2018-3-30 ，

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