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球面上微透镜阵列超精密慢伺服加工精度影响因素的研究
球面上微透镜阵列超精密慢伺服加工精度影响因素的研究
Factors affecting the machining precision of a micro-lens array on a spherical surface in slow tool servo machining
- 光学 精密工程 2018年26卷第10期 页码:2516-2526
DOI: 10.3788/OPE.20182610.2516
录用:2018-3-16
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