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静电驱动MOEMS保险机构的设计与试验
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-08-13
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    • 静电驱动MOEMS保险机构的设计与试验

    • Design and test of electrostatic driving MOEMS arming device

    • 刘加凯
    • 光学 精密工程 2019年27卷第2期 页码：334-340

    • DOI： 10.3788/OPE.20192702.0334     

      中图分类号：

    • 录用：2018-10-23 ，

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