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基于平均功率平衡控制的磁悬浮分子泵电力失效补偿
基于平均功率平衡控制的磁悬浮分子泵电力失效补偿
Power failure compensation method for magnetically suspended TMP based on average power balance control
- 光学 精密工程 2019年27卷第2期 页码：341-351
DOI： 10.3788/OPE.20192702.0341
录用：2018-8-30
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王坤
李腾
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2北京市高速磁悬浮电机技术及应用工程技术研究中心
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