单晶硅反射镜的超精密磨削工艺

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微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-08-13

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- 单晶硅反射镜的超精密磨削工艺
- Ultra-precision grinding of monocrystalline silicon reflector
- 王紫光，周平，高尚，董志刚
- 光学精密工程 2019年27卷第5期页码：1087-1095
- 作者机构：
  大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室，辽宁大连 116024
- 作者简介：
  王紫光 (1984-)，男，辽宁大连人，博士研究生，2009年于辽宁石油化工大学获得学士学位，2012年于大连交通大学获得硕士学位，主要从事硬脆材料的精密与超精密加工。E-mail: wzg1107@mail.dlut.edu.cn
  周平 (1980-)，男，浙江余姚人，博士，副教授，2003，2009年于大连理工大学分别获得学士和博士学位，主要从事精密与超精密加工工艺机理、高性能零件制造技术和机械密封结构设计制造技术的研究。E-mail: pzhou@dlut.edu.cnZHOU Ping, E-mail: pzhou@dlut.edu.cn
- 基金信息：
  国家自然科学基金重大研究计划集成项目(91323302);国家自然科学基金资助项目(51875078);国家自然科学基金青年基金资助项目(51505063);国家科技重大专项（02专项）资助项目(2014ZX02504001)
- DOI： 10.3788/OPE.20192705.1087
  中图分类号：
- 录用：2019-1-2 ，
- 稿件说明：
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