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小型精密谐波转台角度定位精度标定与补偿
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-08-13
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    • 小型精密谐波转台角度定位精度标定与补偿

    • Calibration and compensation of small precision harmonic turntable

    • 吴斌 ，王航 ，康杰虎
    • 光学 精密工程 2019年27卷第10期 页码：2207-2214

    • DOI： 10.3788/OPE.20192710.2207     

      中图分类号：

    • 录用：2019-4-28 ，

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