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湿法化学刻蚀技术处理抛光熔石英元件
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-07-16
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    • 湿法化学刻蚀技术处理抛光熔石英元件

    • Processing fused silica with wet chemical technology

    • 叶卉 ，李亚国 ，姜晨 ，陈起
    • 光学精密工程 2020年28卷第2期 页码：382-389

    • DOI： 10.3788/OPE.20202802.0382     

      中图分类号：

    • 录用：2019-8-1 ，

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