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梳齿结构与振动梁复合的硅微谐振式加速度计非线性振动特性
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-07-09
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    • 梳齿结构与振动梁复合的硅微谐振式加速度计非线性振动特性

    • Nonlinear characteristics of silicon resonant accelerometer with vibrating beam integrated with comb fingers structure

    • 刘梦霞 ，崔健
    • 光学 精密工程 2020年28卷第5期 页码：1066-1074

    • DOI： 10.3788/OPE.20202805.1066     

      中图分类号：

    • 修回：2020-1-9 ，

      录用：2020-1-9 ，

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相关作者

王晓东
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相关机构

中国科学院大学 材料与光电研究中心
中国科学院 长春精密机械与物理研究所
中国气象科学研究院 灾害天气国家重点实验室
国家卫星气象中心 中国遥感卫星辐射测量与定标重点开放实验室
中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所