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应用于Φ300 mm平面反射镜的精密二维转台轴系设计
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-07-09
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    • 应用于Φ300 mm平面反射镜的精密二维转台轴系设计

    • Shafting design for precise two-dimensional turntable applied to Φ 300 mm plane mirror

    • 于夫男 ，徐抒岩
    • 光学 精密工程 2020年28卷第5期 页码：1075-1082

    • DOI： 10.3788/OPE.20202805.1075     

      中图分类号：

    • 修回：2019-12-16 ，

      录用：2019-12-16 ，

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