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光栅干涉精密纳米测量技术
精密测量与传感 | 更新时间：2026-09-11
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    • 光栅干涉精密纳米测量技术

    • Grating interferometric precision nanometric measurement technology

    • “光栅干涉测量是一种重要的精密纳米测量技术，具有高分辨率、高抗干扰能力和多自由度扩展的优势，在先进节点光刻机、超精密机床等场景中发挥着至关重要的作用，介绍了其在精密测量领域的研究进展，专家分析了零差和外差技术原理及国内外发展动态，探讨了精度误差与补偿方法，为光栅干涉仪系统的开发和优化提供参考。”
    • 李星辉 ，崔璨
    • 光学精密工程 2024年32卷第17期 页码：2591-2611

    • DOI： 10.37188/OPE.20243217.2591     

      中图分类号：

    • 修回：2024-05-25 ，

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