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双LaNiO3应变调控锆钛酸铅薄膜低温制备及其MEMS微镜应用
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-10-20
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    • 双LaNiO3应变调控锆钛酸铅薄膜低温制备及其MEMS微镜应用

    • Dual LaNiO3 strain regulation for low-temperature PZT films and MEMS micromirror application

    • “研究团队针对PZT薄膜低温制备难以兼顾高取向与低缺陷的工程难题，提出双LaNiO₃缓冲层协同应变调控方法，在≤500 ℃下实现高性能薄膜制备，压电MEMS微镜在25 Vpp驱动下实现±40°光学扫描角，为高性能PZT薄膜与硅基MEMS单片集成提供了可行技术路径。”
    • 郜晨希 ，解婧 ，尹楚君 ，郑旭 ，马晓龙 ，宋宏岩 ，汪元杰 ，邢建鹏 ，李超波
    • 光学精密工程 2026年34卷第19期 页码：3069-3078

    • DOI： 10.3724/OPE.20263419.3069     

      中图分类号：
    • CSTR： 32169.14.OPE.20263419.3069     

    • 修回：2026-07-24 ，

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