光学外差法面形测量

陈锦雄

doi:null

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

光学外差法面形测量

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 光学外差法面形测量
- Measurement of Surface Profile with Optical Heterodyne Method
- 光学精密工程 1989年0卷第2期页码：37-38
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 网络出版日期：1989-04-15，
  
  纸质出版日期：1989-04-15
- 稿件说明：
移动端阅览
陈锦雄. 光学外差法面形测量[J]. 光学精密工程, 1989,(2): 37-38

Chen Jinxiong. Measurement of Surface Profile with Optical Heterodyne Method[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1989,(2): 37-38
陈锦雄. 光学外差法面形测量[J]. 光学精密工程, 1989,(2): 37-38 DOI：

Chen Jinxiong. Measurement of Surface Profile with Optical Heterodyne Method[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1989,(2): 37-38 DOI：

摘要

本文提出了一种新的方法

多普勒外差法测量表面面形

并首次提出和制作了同步相位计。测量过程由微机控制进行。还讨论了探测器阵列的相位特性评价。

Abstract

This paper describes a new method

Doppler heterodyne measurement method of surface profile

using a simultaneous phase comparator. The measurement is controled by microcomputer. This paper also discusses the evaluation of the phase character of detector array.

关键词

Keywords

references

浏览量

334

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

暂无数据

相关机构

暂无数据

AI问答

地址：长春市东南湖大路3888号邮编：130033
联系电话：0431-86176855 Email：gxjmgc@ciomp.ac.cn
本系统由Light学术出版中心、北京北大方正电子有限公司共建吉ICP备11002662号-17 京公网安备11010802024621
本系统建议在Chrome、 IE9+ 以上版本浏览器阅读本站内容，360浏览器请切换至极速模式
Cookies帮助我们提供服务并提供个性化体验。使用本网站，即表示您同意我们使用Cookies

⁰

光学外差法面形测量

Measurement of Surface Profile with Optical Heterodyne Method

DOI：

摘要

Abstract

关键词

Keywords

references