光学薄膜发射光谱分析中的标样应用

郭永廉; 初真林; 任兵; 谷松海

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光学薄膜发射光谱分析中的标样应用

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 光学薄膜发射光谱分析中的标样应用
- Application of Standard Sample in Thin Film Spectral Analysis
- 光学精密工程 1989年0卷第3期页码：35-40
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金(41301448)
- DOI：
  中图分类号：
- 网络出版日期：1989-06-15，
  
  纸质出版日期：1989-06-15
- 稿件说明：
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郭永廉, 初真林, 任兵, 谷松海. 光学薄膜发射光谱分析中的标样应用[J]. 光学精密工程, 1989,(3): 35-40

Guo Yonglian, Chu Zhenlin, Yen Bing, Gu Shonghai. Application of Standard Sample in Thin Film Spectral Analysis[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1989,(3): 35-40
郭永廉, 初真林, 任兵, 谷松海. 光学薄膜发射光谱分析中的标样应用[J]. 光学精密工程, 1989,(3): 35-40 DOI：

Guo Yonglian, Chu Zhenlin, Yen Bing, Gu Shonghai. Application of Standard Sample in Thin Film Spectral Analysis[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1989,(3): 35-40 DOI：

摘要

通过对导电的铝镁合金膜、不导电的TiO

-Ta

介质膜和半导体ZnSe光学膜层成份直接分析

提出了三种光学薄膜光谱标样制备的新方法。在考察测定系统误差和放电机制之后

提出了光学薄膜成份分析和-般光谱分析对标样不同要求的三点新看法。

Abstract

In this paper three new methods of spectral startdard sample preparation of the optical thin film are proposed by direct spectral analysis of condue-tive Al-Mg alloy thin film

non-conductive TiO

-Ta

thin film and semi-conductive ZnSe optical thin film composition. On the basis of studing systematical measuring error and dischange mechanism three new views of optical thinfilm composition analysis and normal spectral analysis versue different startdard samples are put forward.

关键词

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