反应性离化团束制备光学薄膜新技术

林开华; 郑宣明

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反应性离化团束制备光学薄膜新技术

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 反应性离化团束制备光学薄膜新技术
- Reactive Ionized-cluster Beam Technique for Optical Films Deposition
- 光学精密工程 1991年0卷第5期页码：14-20
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金(41301448)
- DOI：
  中图分类号：
- 网络出版日期：1991-10-15，
  
  纸质出版日期：1991-10-15
- 稿件说明：
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林开华, 郑宣明. 反应性离化团束制备光学薄膜新技术[J]. 光学精密工程, 1991,(5): 14-20

Lin Kaihua, Zheng Xuanming. Reactive Ionized-cluster Beam Technique for Optical Films Deposition[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1991,(5): 14-20
林开华, 郑宣明. 反应性离化团束制备光学薄膜新技术[J]. 光学精密工程, 1991,(5): 14-20 DOI：

Lin Kaihua, Zheng Xuanming. Reactive Ionized-cluster Beam Technique for Optical Films Deposition[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1991,(5): 14-20 DOI：

摘要

本文叙述了离化团束淀积光学薄膜的基本概念及特性

研制了离化团束淀积光学薄膜装置

开展了光学薄膜晶体结构与性能关系的研究。所研制的光学薄膜的牢固性相当好。基底不加温就可以得到ZnS、MgF

的硬膜。反应性离化团束淀积的ZnO光学薄膜具有优良的织构

SiO

光学薄膜呈现多晶结构。

Abstract

The principle of the ionized-cluster beam(ICB) technique and the main characteristics of optical films deposited by ICB are described. ICB deposition apparatus has been fabricated. The films of ZnS and MgF

at low substrate temperatures deposited by ICB become hard films. The optical film of ZnO has preferentical orientation. The optical film of SiO

has polycrystalline strueture.

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