真空紫外电离室的研究

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真空紫外电离室的研究

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 真空紫外电离室的研究
- A Study for VUV Ionization Chamber
- 光学精密工程 1991年0卷第3期页码：6-11
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金(41301448)
- DOI：
  中图分类号：
- 网络出版日期：1991-06-15，
  
  纸质出版日期：1991-06-15
- 稿件说明：
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钱莉民, 金蕾, 李福田, 陈星旦. 真空紫外电离室的研究[J]. 光学精密工程, 1991,(3): 6-11

Qian Limin, Jin Lei, Li Futian, Chen Xingdan. A Study for VUV Ionization Chamber[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1991,(3): 6-11
钱莉民, 金蕾, 李福田, 陈星旦. 真空紫外电离室的研究[J]. 光学精密工程, 1991,(3): 6-11 DOI：

Qian Limin, Jin Lei, Li Futian, Chen Xingdan. A Study for VUV Ionization Chamber[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1991,(3): 6-11 DOI：

软X线-真空紫外辐射计量测试工作发展十分迅速。描述我们研制成功的真空紫外稀有气体电离室绝对型探测器的工作原理、结构和性能。讨论基于McPherson 247掠入射真空紫外单色仪的探测器性能测试装置及性能评价结果。

With the development of space science

plasma physics and short wavelength laser study in recent years

there is a great progress on soft X-ray and Vacuum Ultraviolet spectral radiation metrology. This paper discusses the operating principle

the structure and the performance of VUV rare gas ionization chamber standard detector developed in this Lab

describes the evaluating equipment of the detector performance which is based on McPherson 247 grazing incidence VUV monochromator

and finally presents the measurement results.

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