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BEPC同步辐射软X射线光刻光束线的总体设计特性
论文 | 更新时间:2020-08-12
    • BEPC同步辐射软X射线光刻光束线的总体设计特性

    • Overall Design Characteristic of Soft X-Ray Lithograph Beamline for Synchrotron Radiation at BEPC

    • 光学精密工程   1993年1卷第1期 页码:13-21
    • 收稿日期:1993-01-18

      网络出版日期:1993-02-15

      纸质出版日期:1993-02-15

    移动端阅览

  • 邵景鸿, 徐正良. BEPC同步辐射软X射线光刻光束线的总体设计特性[J]. 光学精密工程, 1993,(1): 13-21 DOI:

    Shao Jinghong, Xu Zhengliang. Overall Design Characteristic of Soft X-Ray Lithograph Beamline for Synchrotron Radiation at BEPC[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1993,(1): 13-21 DOI:

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南京大学 计算机软件新技术国家重点实验室
江苏科技大学 电气与信息工程学院, 江苏 张家港
.中国科学院大学
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