LIGA工艺探讨

王志勤; 姚劲松; 宣明; 王一凡

doi:null

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

LIGA工艺探讨

论文 | 更新时间：2020-08-12

- LIGA工艺探讨
- The LIGA
- 光学精密工程 1993年1卷第6期页码：67-70
- 作者机构：
  
  中国科学院长春光学精密机械研究所长春,130022
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1993-10-14，
  
  网络出版日期：1993-12-15，
  
  纸质出版日期：1993-12-15
- 稿件说明：
移动端阅览
王志勤, 姚劲松, 宣明, 王一凡. LIGA工艺探讨[J]. 光学精密工程, 1993,(6): 67-70

Wang Zhiqin, Yao Jinsong, Xuan Ming, Wang Yifan. The LIGA[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1993,(6): 67-70
王志勤, 姚劲松, 宣明, 王一凡. LIGA工艺探讨[J]. 光学精密工程, 1993,(6): 67-70 DOI：

Wang Zhiqin, Yao Jinsong, Xuan Ming, Wang Yifan. The LIGA[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1993,(6): 67-70 DOI：

摘要

本文叙述了适用于微型机械制造的一种新的工艺-LIGA工艺的技术组成。着重介绍了LIGA工艺中X射线光刻掩模的制作步骤和方法。

Abstract

The paper narrates a new technology suitable for the making of micromechanics-the technical composition of LIGA technology. The paper introduces emphatically the making step and method of X-ray lithograph etching in LIGA technology.

关键词

Keywords

references

浏览量

307

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

电磁型平面微电机及其制作工艺

用于微机械工艺的精密电铸设备

相关机构

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 应用光学国家重点实验室

AI问答

地址：长春市东南湖大路3888号邮编：130033
联系电话：0431-86176855 Email：gxjmgc@ciomp.ac.cn
本系统由Light学术出版中心、北京北大方正电子有限公司共建吉ICP备11002662号-17 京公网安备11010802024621
本系统建议在Chrome、 IE9+ 以上版本浏览器阅读本站内容，360浏览器请切换至极速模式
Cookies帮助我们提供服务并提供个性化体验。使用本网站，即表示您同意我们使用Cookies

⁰

LIGA工艺探讨

The LIGA

DOI：

摘要

Abstract

关键词

Keywords

references