同步辐射软X射线多层膜反射率计的设计

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同步辐射软X射线多层膜反射率计的设计

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 同步辐射软X射线多层膜反射率计的设计
- Design of Soft X-ray Synchrotron Radiation Multilayer Reflectometer
- 光学精密工程 1994年2卷第3期页码：85-88
- 作者机构：
  
  中国科学院长春光学精密机械研究所长春,130022
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1994-01-07，
  
  网络出版日期：1994-06-15，
  
  纸质出版日期：1994-06-15
- 稿件说明：
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薛松, 邵景鸿. 同步辐射软X射线多层膜反射率计的设计[J]. 光学精密工程, 1994,(3): 85-88

Xue Song, Shao Jinghong. Design of Soft X-ray Synchrotron Radiation Multilayer Reflectometer[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1994,(3): 85-88
薛松, 邵景鸿. 同步辐射软X射线多层膜反射率计的设计[J]. 光学精密工程, 1994,(3): 85-88 DOI：

Xue Song, Shao Jinghong. Design of Soft X-ray Synchrotron Radiation Multilayer Reflectometer[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1994,(3): 85-88 DOI：

分析了同步辐射软X射线多层膜反射率计;介绍了单色器系统、反射率计系统、真空系统以及双重二倍角机构的设计要点。

The characteristics of soft X-ray synchrotron radiation multilayer renectometer are analysed. The main points of designing for monochrometer system

reflectometer system

vacuum system and two double-angle mechanisms are introduced.

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