双维精密定位工件台数控系统的研究

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双维精密定位工件台数控系统的研究

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 双维精密定位工件台数控系统的研究
- Study NC on System for the Use of X-Y 2-Dimension Precision Position Workpieces Stage
- 光学精密工程 1994年2卷第4期页码：93-100
- 作者机构：
  
  中国科学院长春光学精密机械研究所长春,130021
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1994-03-10，
  
  网络出版日期：1994-08-15，
  
  纸质出版日期：1994-08-15
- 稿件说明：
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李树秋. 双维精密定位工件台数控系统的研究[J]. 光学精密工程, 1994,(4): 93-100

Li Shuqiu. Study NC on System for the Use of X-Y 2-Dimension Precision Position Workpieces Stage[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1994,(4): 93-100
李树秋. 双维精密定位工件台数控系统的研究[J]. 光学精密工程, 1994,(4): 93-100 DOI：

Li Shuqiu. Study NC on System for the Use of X-Y 2-Dimension Precision Position Workpieces Stage[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1994,(4): 93-100 DOI：

X-Y两维精密定位工件台是以光栅干涉仪为位置检测元件的精密定位系统

其数控系统是以8031单片机作为位置控制的闭环系统。本文在对系统深入分析的基础上

设计了数控系统的硬件

用Turbo C、8088汇编语言及Mcs51汇编语言编制了相应的软件

采用细分方法提高了系统的分辨率

并对如何提高系统精度做了详细的讨论。结果表明

数控系统达到了预定的精度.

X-Y 2-dimension precise positioning workpieces stage is a system

it's position detecting component is the grating interferometer. The NC system is a close loop system

it's position control unitis 8031 single chip micro-computer.

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