压电陶瓷微位移驱动器在精密工件台上的应用研究

荆涛

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压电陶瓷微位移驱动器在精密工件台上的应用研究

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 压电陶瓷微位移驱动器在精密工件台上的应用研究
- Applied Research on Precision Positioning Workpiece Stage with Piezoelectric Micro-Displacement Actuator
- 光学精密工程 1994年2卷第4期页码：64-68
- 作者机构：
  
  中国科学院长春光学精密机械研究所, 长春 130021
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1994-03-10，
  
  网络出版日期：1994-08-15，
  
  纸质出版日期：1994-08-15
- 稿件说明：
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荆涛. 压电陶瓷微位移驱动器在精密工件台上的应用研究[J]. 光学精密工程, 1994,(4): 64-68

Jing Tao. Applied Research on Precision Positioning Workpiece Stage with Piezoelectric Micro-Displacement Actuator[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1994,(4): 64-68
荆涛. 压电陶瓷微位移驱动器在精密工件台上的应用研究[J]. 光学精密工程, 1994,(4): 64-68 DOI：

Jing Tao. Applied Research on Precision Positioning Workpiece Stage with Piezoelectric Micro-Displacement Actuator[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1994,(4): 64-68 DOI：

摘要

以压电陶瓷微位移原理为基础

对精密驱动技术在精密定位工件台上的应用作了实验研究。一个是对工件台的微动台进行驱动

另一个是对导轨直线进行误差补偿。设计了一个包括高压精密可调电源、压电微位移驱动器、作为反馈元件的光栅干涉仪、以及由IBMPC机和几个8031单片机的主从控制系统.

Abstract

Basing on the principle of micro-displacement of piezoelectric ceramic

Author have donethe research work on. the precise actuator technique

which is used for precise positioningworkpiece stage. One is to actuate the fine stage of the workpiece stage

the other is to compensate the error of the straightness of the sliding guide. Author designs a principal and subordinate controlling system. The whole system includes a ajustable high precise power

piezoelectric micro-displacement actuator

a grating interferometer acting as the feedback element

and a controlling system organized by IBM-PC computer and several 803l microcontroller.

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