可测量大陡峭度物体的傅立叶变换轮廓法(MFTP)

江毅; 黄尚廉; 江德卿

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可测量大陡峭度物体的傅立叶变换轮廓法(MFTP)

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 可测量大陡峭度物体的傅立叶变换轮廓法(MFTP)
- Modifed Foudransform Profilomery for the Measurement of 3-D Steep Shapes
- 光学精密工程 1995年3卷第2期页码：88-93
- 作者机构：
  
  1. 重庆大学光电精密仪器系, 国家教委光电技术及系统开放实验室宜宾,644007
  2. 宜宾师专物理系宜宾,644007
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金(41301448)
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1994-07-12，
  
  网络出版日期：1995-04-15，
  
  纸质出版日期：1995-04-15
- 稿件说明：
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江毅, 黄尚廉, 江德卿. 可测量大陡峭度物体的傅立叶变换轮廓法(MFTP)[J]. 光学精密工程, 1995,(2): 88-93

Jiang Yi, Huang Shanglian, Jiang Deqing. Modifed Foudransform Profilomery for the Measurement of 3-D Steep Shapes[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1995,(2): 88-93
江毅, 黄尚廉, 江德卿. 可测量大陡峭度物体的傅立叶变换轮廓法(MFTP)[J]. 光学精密工程, 1995,(2): 88-93 DOI：

Jiang Yi, Huang Shanglian, Jiang Deqing. Modifed Foudransform Profilomery for the Measurement of 3-D Steep Shapes[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1995,(2): 88-93 DOI：

摘要

本文在简要地分析了傅立叶变换轮廓法(FTP)和改进型傅立叶变换轮廓法(IFTP)测量三维物体形状轮廓的可测陡峭度限制后

提出了一种可测量大陡峭度物体的傅立叶变换轮廓法(MFTP)

给出了详细的测量方法和理论分析。利用FTP自身的特点

消除了IFTP引入的人为误差

提高了FTP的能测陡峭度。

Abstract

Having discribed the measurable slope of Fourier transform profilometry(FTP)and improved FTP(IFTP)

a modified FTP(MFTP)for the measurement of 3-D steep shapes is proposed in this paer.The detail measuring method and theory analysis ars also given. The artificial error introduced in IFTP was eliminated by utilizing the merits of FTP.

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