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纳米X－Y工作台固有频率特性的研究
论文 | 更新时间：2020-08-12

    • 纳米X－Y工作台固有频率特性的研究

    • Natural Frequency Characteristics or the Nanopositioning x-y Stage

    • 光学精密工程   1995年3卷第6期 页码：50-54

    • 收稿日期：1995-09-30，

      网络出版日期：1995-12-15，

      纸质出版日期：1995-12-15

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  • 吴一辉, 杨洪波. 纳米X－Y工作台固有频率特性的研究[J]. 光学精密工程, 1995,(6): 50-54 DOI：

    Wu Yihui, Yang Hongbo. Natural Frequency Characteristics or the Nanopositioning x-y Stage[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1995,(6): 50-54 DOI：

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