Discussion on Homogeneity Error-calibrating of Metrelogy Gratings
光学精密工程1996年4卷第2期 页码:109-113
作者机构:
中国科学院长春光学精密机械研究所 长春,130022
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收稿日期:1995-10-25,
网络出版日期:1996-04-15,
纸质出版日期:1996-04-15
稿件说明:
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杨进堂. 检测计量光栅均匀性误差的探讨[J]. 光学精密工程, 1996,(2): 109-113
Yang Jintang. Discussion on Homogeneity Error-calibrating of Metrelogy Gratings[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1996,(2): 109-113
Yang Jintang. Discussion on Homogeneity Error-calibrating of Metrelogy Gratings[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1996,(2): 109-113DOI: