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准LIGA工艺技术在加工微金属齿轮中的应用
论文 | 更新时间：2020-08-12

    • 准LIGA工艺技术在加工微金属齿轮中的应用

    • Application of Quasi-LIGA Process to Machining Metal Micro-gears

    • 光学精密工程   1995年3卷第3期 页码：64-66

    • 收稿日期：1995-04-07，

      网络出版日期：1995-06-15，

      纸质出版日期：1995-06-15

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  • 姚劲松, 王志勤, 王飞, 宣明, 梁静秋, 王一凡. 准LIGA工艺技术在加工微金属齿轮中的应用[J]. 光学精密工程, 1995,(3): 64-66 DOI：

    Yao Jinsong, Wang Zhiqin, Wang Fei, Xuan Ming, Liang Jingqiu, Wang Yifan. Application of Quasi-LIGA Process to Machining Metal Micro-gears[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1995,(3): 64-66 DOI：

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相关作者

黄惠杰
路敦武
王润文
沈蓓军
吕琼莹
王立鼎
崔天宏
崔天宏

相关机构

中国科学院上海光学精密机械研究所
清华大学精仪系
中国科学院长春光学精密机械研究所, 长春 130022
清华大学精仪系
中国科学院长春光学精密机械研究所
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