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小型精密X－Y工作台误差的理论分析及补偿
论文 | 更新时间：2020-08-12

    • 小型精密X－Y工作台误差的理论分析及补偿

    • Theoretical Analvsis and Compensation of Errors or Miniature Fine X-Y Worktable

    • 光学精密工程   1995年3卷第4期 页码：87-92

    • 收稿日期：1995-04-26，

      网络出版日期：1995-08-15，

      纸质出版日期：1995-08-15

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  • 李江国, 王立鼎. 小型精密X－Y工作台误差的理论分析及补偿[J]. 光学精密工程, 1995,(4): 87-92 DOI：

    Li Jiangguo, Wang Liding. Theoretical Analvsis and Compensation of Errors or Miniature Fine X-Y Worktable[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1995,(4): 87-92 DOI：

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相关作者

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相关机构

中国工程物理研究院 电子工程研究所
清华大学 工程物理系
复旦大学 信息科学与工程学院
河北工业大学 机械工程学院
重庆理工大学 机械检测技术与装备教育部工程研究中心
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