复制光栅质量分析

王春霞

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复制光栅质量分析

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 复制光栅质量分析
- Analysis on Quality of Reproduction Grating
- 光学精密工程 1997年5卷第4期页码：70-75
- 作者机构：
  
  中国科学院长春光学精密机械研究所长春,130022
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1997-03-27，
  
  网络出版日期：1997-08-15，
  
  纸质出版日期：1997-08-15
- 稿件说明：
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王春霞. 复制光栅质量分析[J]. 光学精密工程, 1997,(4): 70-75

Wang Chunxia. Analysis on Quality of Reproduction Grating[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1997,(4): 70-75
王春霞. 复制光栅质量分析[J]. 光学精密工程, 1997,(4): 70-75 DOI：

Wang Chunxia. Analysis on Quality of Reproduction Grating[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1997,(4): 70-75 DOI：

摘要

分析了影响复制光栅衍射效率、分辨率及表面质量的因素

并介绍了提高复制光栅质量的方法。

Abstract

Factors having effects on diffraction efficiency

resolution and surface quality of reproduction grating are analyzed in this paper.The methods are described to improve quality of the reproduction grating.

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复制光栅质量分析

Analysis on Quality of Reproduction Grating

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