纵弯式压电微电机自然频率的有限元计算

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纵弯式压电微电机自然频率的有限元计算

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 纵弯式压电微电机自然频率的有限元计算
- Finite Element Analysis on Natural Frequency of Longitudinal bending Piezoelectric Micromotor
- 光学精密工程 1997年5卷第6期页码：81-85
- 作者机构：
  
  1. 上海交通大学机械系, 上海, 200030
  2. 中国科学院长春光学精密机械研究所, 长春, 130022
  3. 吉林工业大学机械工程系, 长春, 130025
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  863计划资助项目()
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1997-09-28，
  
  修回日期：1997-10-16，
  
  网络出版日期：1997-12-15，
  
  纸质出版日期：1997-12-15
- 稿件说明：
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马建旭, 吴清文, 卢锷, 文大化, 李成发. 纵弯式压电微电机自然频率的有限元计算[J]. 光学精密工程, 1997,(6): 81-85

MA Jian-Xu, WU Qing-Wen, LU E, WEN Da-Hua, LI Cheng-Fa . Finite Element Analysis on Natural Frequency of Longitudinal bending Piezoelectric Micromotor[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1997,(6): 81-85
马建旭, 吴清文, 卢锷, 文大化, 李成发. 纵弯式压电微电机自然频率的有限元计算[J]. 光学精密工程, 1997,(6): 81-85 DOI：

MA Jian-Xu, WU Qing-Wen, LU E, WEN Da-Hua, LI Cheng-Fa . Finite Element Analysis on Natural Frequency of Longitudinal bending Piezoelectric Micromotor[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1997,(6): 81-85 DOI：

利用有限元方法计算了纵弯式压电微电机自然频率和固有振型。相应的实验表明

利用该分析方法所得结果与实测值有较好的一致性。

Using FEM

the natural frequency of Longitudinal bending piezoelectric micromotor is calculated

and the calculation result shows that it is consistent with the experiment

and it puts forward a theory foundation for investigating the natural frequency of piezoelectric micromotors.

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