数字光学轮廓仪中相位去包裹算法研究

曹原; 韦春龙; 程维明; 陈明仪

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数字光学轮廓仪中相位去包裹算法研究

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 数字光学轮廓仪中相位去包裹算法研究
- Two-dimensional Phase Unwrapping Algorithms
- 光学精密工程 1999年7卷第5期页码：100-105
- 作者机构：
  
  上海大学精密机械工程系, 上海嘉定,201800
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  上海市科委青年基金();青年科技启明星计划项目()
- DOI：
  中图分类号： TB92
- 收稿日期：1999-06-28，
  
  网络出版日期：1999-10-15，
  
  纸质出版日期：1999-10-15
- 稿件说明：
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曹原, 韦春龙, 程维明, 陈明仪. 数字光学轮廓仪中相位去包裹算法研究[J]. 光学精密工程, 1999,(5): 100-105

CAO Yuan, WEI Chun-Long, CHENG Wei-Ming, CHEN Ming-Yi . Two-dimensional Phase Unwrapping Algorithms[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1999,(5): 100-105
曹原, 韦春龙, 程维明, 陈明仪. 数字光学轮廓仪中相位去包裹算法研究[J]. 光学精密工程, 1999,(5): 100-105 DOI：

CAO Yuan, WEI Chun-Long, CHENG Wei-Ming, CHEN Ming-Yi . Two-dimensional Phase Unwrapping Algorithms[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1999,(5): 100-105 DOI：

摘要

相位扫描干涉度量术的广泛应用推动了去包裹算法的发展。在多种算法中

用于数字光学轮廓仪的相位去包裹算法必须具有较高的普遍适用性

而且必须兼顾健壮性与效率。本文对传统算法和最小二乘算法这两种典型去包裹算法进行了比较研究

并在自行研制的数字光学轮廓仪上进行了验证。

Abstract

The wide use of phase stepping interferometry has greatly facilitated the development of phase unwrapping technique. When used in digital optical profiler

the phase unwrapping algorithm must be more general and robust

and has high efficiency. The two typical algorithms: the traditional algorithm and the least-squares algorithm have been discussed and examined by testing of an optical disk with the digital optical profiler we have developed. The experimental result shows that the least-squares algorithm is reliable and ideal.

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