直线度误差组合分离方法及其误差分析

王宪平; 李圣怡

doi:null

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

直线度误差组合分离方法及其误差分析

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 直线度误差组合分离方法及其误差分析
- Straightness Measurement with a New Combination Method and Its Error Analysis
- 光学精密工程 1999年7卷第4期页码：124-130
- 作者机构：
  
  国防科技大学机械电子工程与仪器系长沙,410073
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： TB92
- 收稿日期：1999-01-04，
  
  修回日期：1999-04-12，
  
  网络出版日期：1999-08-15，
  
  纸质出版日期：1999-08-15
- 稿件说明：
移动端阅览
王宪平, 李圣怡. 直线度误差组合分离方法及其误差分析[J]. 光学精密工程, 1999,(4): 124-130

WANG Xian-Ping, LI Sheng-Yi . Straightness Measurement with a New Combination Method and Its Error Analysis[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1999,(4): 124-130
王宪平, 李圣怡. 直线度误差组合分离方法及其误差分析[J]. 光学精密工程, 1999,(4): 124-130 DOI：

WANG Xian-Ping, LI Sheng-Yi . Straightness Measurement with a New Combination Method and Its Error Analysis[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1999,(4): 124-130 DOI：

摘要

在分析了精密和超精密加工技术的发展对直线度误差分离技术所提出的新要求的基础上

介绍了为满足这些要求而发展的时域逐次两点法、三点法、精密逐次三点法、广义两点法以及频域方法

从数据融合和信息提取角度解释了方法的发展趋势

并提出了n阶误差分离模型。同时结合对这些方法的误差分析

提出了一种三次数据融合的时域直线度误差组合分离方法。这种方法以两点法为主

结合了广义两点法和时域三点法

使用三点法分离出的摆角补偿两点法的分离结果

使用广义两点法提供各组两点法分离结果之间的相对位置关系。提高了测量精度

对传感器的初始对准没有严格要求

避免了传感器初始对准误差的非线性累积和两点法中的摆角误差

可以满足超精密直线度测量的要求。

Abstract

Based on the study of the new requirements of the precision and ultraprecision machine technique for the error separation technique of straightness measurement

this paper introduces briefly methods such as STP

STRP

GTP and OEST. The trend of development of EST methods is analyzed from the aspect of data fusion and information abstraction. A N-layer EST model is presented. Based on the analysis of the error introduced into these EST methods

this paper presents a new time domain combination method for straightness measurement. it employs STP

STRP and GTP. STRP is employed to correct the error introduced in STP by the neglect of yaw angle. GTP is used to supply the relative height of all STP results. This method can not only improve measurement accuracy but also get information of waveness. It fits the need of precision and ultra precision straightness measurement.

关键词

Keywords

references

浏览量

281

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

光学曲面的偏折测量技术：原理、挑战与展望（特邀）

场景切换感知的地基成像系统电子稳像技术

基于光谱共焦探针的Wolter-I型X射线显微镜芯轴高精度检测

新型旋转激光扫描系统轴系调整与误差标定

基于离散绕组的磁场式时栅位移传感器及误差特性