激光直写设备调焦伺服控制系统的研究

熊木地; 肖文礼; 邢忠宝

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激光直写设备调焦伺服控制系统的研究

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 激光直写设备调焦伺服控制系统的研究
- Focussing-servo system of laser direct writting device
- 光学精密工程 2000年8卷第1期页码：79-82
- 作者机构：
  
  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春,中国,130033
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： TP272
- 收稿日期：1999-07-20，
  
  修回日期：1999-07-27，
  
  网络出版日期：2000-02-15，
  
  纸质出版日期：2000-02-15
- 稿件说明：
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熊木地, 肖文礼, 邢忠宝. 激光直写设备调焦伺服控制系统的研究[J]. 光学精密工程, 2000,(1): 79-82

XIONG Mu-di, XIAO Wen-li, XINAG Zhong-bao . Focussing-servo system of laser direct writting device[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2000,(1): 79-82
熊木地, 肖文礼, 邢忠宝. 激光直写设备调焦伺服控制系统的研究[J]. 光学精密工程, 2000,(1): 79-82 DOI：

XIONG Mu-di, XIAO Wen-li, XINAG Zhong-bao . Focussing-servo system of laser direct writting device[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2000,(1): 79-82 DOI：

摘要

精密调焦伺服控制技术属于激光直写设备中的关键技术之一.简要介绍了二元光学激光直写设备的工作原理

分析了调焦伺服实现的方法

重点分析了由电机与压电陶瓷构成的大范围二级调焦伺服系统的工作原理.提出了采用两点探焦法解决刻划时焦点的跳动问题

采用归一化处理消除光强波动对调焦精度的影响.最后

给出经过这些方法改进后的调焦特性曲线.

Abstract

The working principle of binary optics laser direct writting device is introduced. Method of high resolution focussing servo is discussed. The principle of two steps focussing servo system

which consists of motor and piezoelectric ceramic

is analysed. The method of two point probe focus is proposed to resolve the problem of the jog of focus

and unitization processing is used to eliminate the change of laser power. At last

the curve of the focussing result is given.

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