振镜二维扫描的图形畸变校正和曝光量补偿

万志; 杜温锡

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振镜二维扫描的图形畸变校正和曝光量补偿

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 振镜二维扫描的图形畸变校正和曝光量补偿
- Calibration of graphic distortion and compensation of exposure for dual galvanometer scanning
- 光学精密工程 2000年8卷第2期页码：115-119
- 作者机构：
  
  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所电子印刷工程技术中心,吉林长春,130021
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： TH703
- 收稿日期：1999-12-10，
  
  修回日期：1999-12-16，
  
  网络出版日期：2000-04-15，
  
  纸质出版日期：2000-04-15
- 稿件说明：
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万志, 杜温锡. 振镜二维扫描的图形畸变校正和曝光量补偿[J]. 光学精密工程, 2000,(2): 115-119

WAN Zhi, DU Wei-xi . Calibration of graphic distortion and compensation of exposure for dual galvanometer scanning[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2000,(2): 115-119
万志, 杜温锡. 振镜二维扫描的图形畸变校正和曝光量补偿[J]. 光学精密工程, 2000,(2): 115-119 DOI：

WAN Zhi, DU Wei-xi . Calibration of graphic distortion and compensation of exposure for dual galvanometer scanning[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2000,(2): 115-119 DOI：

摘要

主要讨论了物镜前振镜二维扫描光学系统中图形畸变的产生原因

分析比较了图形畸变与振镜布放、像面坐标系方位及fθ特性误差等的关系

并结合视场大小为75×75的实际物镜fθ特性误差的最小二乘拟合

给出了校正图形畸变的准确关系式.另外

在矢量扫描方式中光斑移动速度的非线性会导致扫描图形各部分曝光不均匀

文中也给出了对扫描图形曝光量加以补偿的方法和公式.

Abstract

This paper mainly discussed the reasons for resulting in graphic distortion of pre objective dual galvanometer optical scanning system

and compared as well as analyzed the relations between graphic distortion and placement of galvanometers

orientation of image plane

and f-θ error etc. With simulating the f-θ error of 75×75 FOV actual objective lens by least squares model

the accurate formula for correcting graphic distortion was given. In addition

in vector scanning

the non linear velocity of spot movement in image plane will lead to uneven exposure. This paper also offered several ways and formulas to compensate uneven exposure.

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