一种新型光纤传感器在精密产品加工中的应用研究

曾毅; 侯国章

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一种新型光纤传感器在精密产品加工中的应用研究

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 一种新型光纤传感器在精密产品加工中的应用研究
- Applications of novel optical fiber sensors in manufacturing precision products
- 光学精密工程 2001年9卷第2期页码：139-140
- 作者机构：
  
  哈尔滨工业大学机电工程学院,黑龙江哈尔滨,150001
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： TN253
- 收稿日期：2000-12-04，
  
  修回日期：2001-01-10，
  
  网络出版日期：2001-04-15，
  
  纸质出版日期：2001-04-15
- 稿件说明：
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曾毅, 侯国章. 一种新型光纤传感器在精密产品加工中的应用研究[J]. 光学精密工程, 2001,(2): 139-140

ZENG Yi, HOU Guo-zhang . Applications of novel optical fiber sensors in manufacturing precision products[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2001,(2): 139-140
曾毅, 侯国章. 一种新型光纤传感器在精密产品加工中的应用研究[J]. 光学精密工程, 2001,(2): 139-140 DOI：

ZENG Yi, HOU Guo-zhang . Applications of novel optical fiber sensors in manufacturing precision products[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2001,(2): 139-140 DOI：

摘要

利用所研制的新型反射式光纤传感器对精密产品加工中的小台阶、沟槽等进行了测试研究。测试系统充分发挥了激光光纤传感测量方法的突出优点

实现对精密产品的非接触、快速地检测。传感器的高度分辨力可达0.4μm

定位精度可达±2μm。

Abstract

Based on the newly developed laser optical fiber sensor

the small step products and grooves machined by precision processing were experimentally measured according to the laser reflex principle. By making full use of the outstanding merits of the laser optical fiber sensing technology

a non contact

high speed inspection for the precision products is realized. The longitudinal resolution of the sensor can reach 0.4μm

and the positioning accuracy is better than ±2μm.

关键词

Keywords

references

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