基于微操作的大行程高分辨率旋转微驱动器的研究

孙立宁; 荣伟彬; 曲东升; 高振国; 楼朝飞; 蔡鹤皋

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基于微操作的大行程高分辨率旋转微驱动器的研究

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 基于微操作的大行程高分辨率旋转微驱动器的研究
- Research on a Large Travel and High Resolution Rotary Micro-driver Based on Micro-manipulation
- 光学精密工程 2001年9卷第6期页码：514-518
- 作者机构：
  
  哈尔滨工业大学机器人研究所,黑龙江哈尔滨,150001
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目(59785002)()
- DOI：
  中图分类号： TP242
- 收稿日期：2001-08-20，
  
  修回日期：2001-09-06，
  
  网络出版日期：2001-12-15，
  
  纸质出版日期：2001-12-15
- 稿件说明：
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孙立宁, 荣伟彬, 曲东升, 高振国, 楼朝飞, 蔡鹤皋. 基于微操作的大行程高分辨率旋转微驱动器的研究[J]. 光学精密工程, 2001,(6): 514-518

SUN Li-ning, RONG Wei-bin, QU Dong-sheng, GAO Zhen-guo, LOU Chao-fei, CAI He-gao . Research on a Large Travel and High Resolution Rotary Micro-driver Based on Micro-manipulation[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2001,(6): 514-518
孙立宁, 荣伟彬, 曲东升, 高振国, 楼朝飞, 蔡鹤皋. 基于微操作的大行程高分辨率旋转微驱动器的研究[J]. 光学精密工程, 2001,(6): 514-518 DOI：

SUN Li-ning, RONG Wei-bin, QU Dong-sheng, GAO Zhen-guo, LOU Chao-fei, CAI He-gao . Research on a Large Travel and High Resolution Rotary Micro-driver Based on Micro-manipulation[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2001,(6): 514-518 DOI：

摘要

根据仿生学原理

采用分立式布局

研制出大行程高分辨率旋转微驱动器.该微驱动器采用电磁铁箝位、压电陶瓷驱动的爬行式步进机构形式

实现了光学镜面的二维微调整操作.实验表明

该微驱动器具有分辨率高、行程大、步距可变等特点

也适用于其它微操作中大行程高分辨率的旋转驱动.

Abstract

According to biology imitating theory

a large travel and high precision rotary micro driver with discrete layout has been developed. Due to the stepping mechanism with electro magnet anchor/loosen and PZT driving

the micro-driver realizes two-degree-of-freedom micro-displacement of optical mirror. Experiments show that the micro-driver realizes high resolution

large travel and variable step. Apart from optical micro driving

it can also be applied to large travel and high resolution rotary driving among some micro manipulations.

关键词

Keywords

references

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