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微制造平台的精密隔振系统研究
论文 | 更新时间:2020-08-12
    • 微制造平台的精密隔振系统研究

    • Research on Precision Isolation System of Micro Manufacturing Platform

    • 光学精密工程   2001年9卷第6期 页码:506-510
    • 中图分类号: TH161.6;TH113.1
    • 收稿日期:2001-08-20

      修回日期:2001-10-08

      网络出版日期:2001-12-15

      纸质出版日期:2001-12-15

    移动端阅览

  • 梅德庆, 陈子辰. 微制造平台的精密隔振系统研究[J]. 光学精密工程, 2001,(6): 506-510 DOI:

    MEI De-qing, CHEN Zi-chen . Research on Precision Isolation System of Micro Manufacturing Platform[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2001,(6): 506-510 DOI:

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