用于同步辐射光束线工程的三维精密调整平台

夏绍建; 张耀明; 邹丽新

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用于同步辐射光束线工程的三维精密调整平台

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 用于同步辐射光束线工程的三维精密调整平台
- High precision 3-D stage for synchrotron radiation beamline engineering
- 光学精密工程 2002年10卷第6期页码：578-581
- 作者机构：
  
  1. 中国科学院上海原子核研究所上海,201800
  2. 苏州大学, 现代光学技术研究所, 江苏, 苏州, 215006
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家重点工程项目-上海同步辐射装置工程预制研究项目();苏州大学现代光学技术省重点实验室开放课题(No.T2108106)()
- DOI：
  中图分类号： O432.1
- 收稿日期：2002-04-05，
  
  修回日期：2002-10-28，
  
  网络出版日期：2002-12-15，
  
  纸质出版日期：2002-12-15
- 稿件说明：
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夏绍建, 张耀明, 邹丽新. 用于同步辐射光束线工程的三维精密调整平台[J]. 光学精密工程, 2002,(6): 578-581

XIA Shao-jian, ZHANG Yao-ming, ZOU Li-xin. High precision 3-D stage for synchrotron radiation beamline engineering[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2002,(6): 578-581
夏绍建, 张耀明, 邹丽新. 用于同步辐射光束线工程的三维精密调整平台[J]. 光学精密工程, 2002,(6): 578-581 DOI：

XIA Shao-jian, ZHANG Yao-ming, ZOU Li-xin. High precision 3-D stage for synchrotron radiation beamline engineering[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2002,(6): 578-581 DOI：

摘要

介绍了用于同步辐射光束线工程的三维精密调整平台结构原理

其特点是:结构紧凑

承载量大

精度高;采用步进电机驱动实现三维精密运动

并通过数字电路与软件实现其智能化

同时备有手动工作模式.

Abstract

This paper briefly introduces the structural principle of a special 3-D stage for synchrotron radiation beamlines. The characteristics include compact structure

heavy load and high precision. It is step motor driven and digitally controlled by software in a PC. A manual operation mode is also reserved.

关键词

Keywords

references

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