1.湖北工业大学 机械工程学院,湖北 武汉430068
2.华中科技大学 机械科学与工程学院,湖北 武汉430074
3.国家数字化设计与制造创新中心,湖北 武汉 430206
[ "陈 肖(1987-),男,湖北荆州人,博士,教授, 2011年、2014年于华中科技大学分别获得硕士、博士学位,主要从事超精密制造方面的研究。E-mail: chenxiao1987jz@163.com" ]
陈 肖(1987-),男,湖北荆州人,博士,教授, 2011年、2014年于华中科技大学分别获得硕士、博士学位,主要从事超精密制造方面的研究。E-mail: chenxiao1987jz@163.com
[ "许剑锋(1979-),男,湖南邵阳人,博士,教授,2001 年于新加坡国立大学获得硕士学位,2008 年于美国加州大学圣地亚哥分校获得博士学位,主要从事超精密与智能制造方面的研究。E-mail:jfxu@hust.edu.cn" ]
许剑锋(1979-),男,湖南邵阳人,博士,教授,2001 年于新加坡国立大学获得硕士学位,2008 年于美国加州大学圣地亚哥分校获得博士学位,主要从事超精密与智能制造方面的研究。E-mail:jfxu@hust.edu.cn
纸质出版日期:2023-01-10,
收稿日期:2022-06-25,
修回日期:2022-08-02,
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引用本文
陈肖,柯金洋,佘中迪等.单晶硅激光辅助超精密切削工艺优化与表面特性[J].光学精密工程,2023,31(01):99-108.
CHEN Xiao,KE Jinyang,SHE Zhongdi,et al.Optimization of process parameters and surface characteristics in laser-assisted ultra-precision cutting of monocrystalline silicon[J].Optics and Precision Engineering,2023,31(01):99-108.
陈肖,柯金洋,佘中迪等.单晶硅激光辅助超精密切削工艺优化与表面特性[J].光学精密工程,2023,31(01):99-108. DOI: 10.37188/OPE.20233101.0099.
CHEN Xiao,KE Jinyang,SHE Zhongdi,et al.Optimization of process parameters and surface characteristics in laser-assisted ultra-precision cutting of monocrystalline silicon[J].Optics and Precision Engineering,2023,31(01):99-108. DOI: 10.37188/OPE.20233101.0099.
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